nano PROCESS nano PROCESS

穴加工

各種材料に対する貫通加工、円形だけでなく任意形状の穴加工も可能です。

加工例・加工実績

  • ガラス基板貫通穴02

    ガラスへの穴加工
    1000倍
  • ガラス基板貫通穴01

    ガラスへの穴加工
    100倍
  • ALN加工面SEM画像

    ALN:窒化アルミへの穴加工 100倍
    全体として穴形状が安定していることが分かります。
  • アルミナ異形加工02

    アルミナ材への穴加工
    穴径0.3~4mm
    中央部ブリッジ幅300μm
  • シリコン基板穴加工

    シリコン基板Φ5mm穴加工
  • Siウエハ異形切出し

    シリコンへの穴加工
    穴径0.3~4mm
    中央部ブリッジ幅300μm
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