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その他

脆性材料といっても種類は多いですが、一般的にはセラミックス、シリコン、ガラス等を指します。従来の機械加工では触れるだけで割れてしまう材料や、薄くハンドリングが困難な材料に対しても非接触で切断できるレーザー加工は魅力です。
また硬い材料の加工に対しても得意でSiC単結晶やサファイア、GaN基板等への対応も可能です。

加工例・加工実績

  • ITO膜パターンニング加工

    1.薄膜材料(基材はガラス):ITO、Cr、Al etc
      膜厚:100~10000Å
    2.最大加工範囲:最大300mm
    3.保証加工精度:±50um
    4.加工径:Φ30um
    5.表裏膜面同時加工可能
  • ALN加工面SEM画像

    ALN:窒化アルミへの穴加工 100倍
    全体として穴形状が安定していることが分かります。
  • カーボンシート加工

    カーボンシートの自由形状切り出し加工
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